지은이 : 윤영수
연세대학교 요업공학 학사(1988) 한국과학기술원(KAIST) 원자력공학과 석·박사(1990, 1994) 한국과학기술연구원(KIST) 박사후연구원(1994∼1995) 미국 Minnesota 대학교 academic staff (1995∼1997) 한국과학기술연구원(KIST) 책임연구원(1997∼1993) 건국대학교 신기술융합학과 부교수(2004∼2008) 연세대학교 재료공학과 부교수(2008∼2012) 現) 가천대학교 신소재공학과 교수(2013∼ ) 現) 가천대학교 전지 및 에너지 변환 연구소 소장(2013∼ )
지은이 : 최지혁
가천대학교 신소재공학과 에너지재료연구실 박사과정
지은이 : 김수형
가천대학교 신소재공학과 에너지재료연구실 박사과정
지은이 : 이운호
가천대학교 신소재공학과 에너지재료연구실 박사과정수료
CHAPTER 01 박막공정 개론
CHAPTER 02 박막 증착 종류
CHAPTER 03 Sputtering을 통한 박막 형성 공정 이해
CHAPTER 04 박막 어플리케이션: 산업 중심의 기술개발
CHAPTER 05 결론
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